1. | ![]() |
박막공학의 소개 | ![]() |
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소개(2) | ![]() |
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2. | ![]() |
2장 진공이란? | ![]() |
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3. | ![]() |
기체분자의 운동 | ![]() |
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4. | ![]() |
펌프게이지 | ![]() |
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5. | ![]() |
진공시스템 | ![]() |
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6. | ![]() |
3장 Evaporation(1) | ![]() |
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7. | ![]() |
4장 플라즈마 물리기초(1) | ![]() |
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플라즈마 물리기초(2) | ![]() |
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8. | ![]() |
5장 DC Sputtering(1) | ![]() |
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DC Sputtering(2) | ![]() |
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9. | ![]() |
6장 Etching(1) | ![]() |
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10. | ![]() |
7장 CVD(1) | ![]() |
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CVD(2) | ![]() |
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11. | ![]() |
7장 ALD | ![]() |
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12. | ![]() |
CVD 박막의 특성 | ![]() |
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13. | ![]() |
8장 Al 배선 | ![]() |
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14. | ![]() |
Cu 배선기술 | ![]() |
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15. | ![]() |
미래배선기술 | ![]() |
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9장 박막물성 분석 | ![]() |